真空烘箱的干燥過程先是把物料表面的水分受熱汽化排出烘箱，而物料內部的水分在溫差的作用下，不斷向表面擴散，逐漸的形成第壹步的汽化過程。其次，在真空干燥時，也存在著壓力差，也就使得被汽化的水分子加速向真空空間移動。而影響真空烘箱干燥速度的因素有這幾點：
1.物料的尺寸大小。物料本身的含水量、密度等。一般較小的物料則內部水分容易被擴散。如果提前提高物料的初溫再經真空過濾處理、降低含濕量，也能提高干燥速度。
2.取決于真空度的高低，越高則利于水分在較低溫度下汽化，但過高也不利熱傳導，會影響加熱效果。真空烘箱為提高物料干燥速度，要據物料的特性考慮真空度來干燥！
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